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でんしビームろこうそうち【電子ビーム露光装置】　一般用語集　て

項目	でんしビームろこうそうち【電子ビーム露光装置】
意味	〔electronic beam exposure equipment〕電子ビームを用いて，半導体回路を描く装置。微細な回路をシリコンウエハー上に直接描くことができる。