一般用語集
シーブイディー【CVD】 一般用語集 し
| 項目 | シーブイディー【CVD】 |
| 意味 | 〔chemical vapor deposition〕半導体・絶縁体・金属などをガスにして加熱した基板上で化学反応により堆積させ，薄膜を形成する技術。化学的気相成長法。化学蒸着法。→真空蒸着 |
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